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电子半导体芯片用超纯水设备

文章出处:http://www.gzzkhb.com   发表时间:2018-05-28 16:15:41   人气:

       电子、半导体、芯片、液晶显示、光伏工业生产在制作过程中,往往需要使用极其纯净的超纯水,如果水质达不到生产工艺用水的要求或者水质不稳定的话,会影响到后续工艺的处理效果和产品质量,因此电子半导体芯片用超纯水设备是电子行业用水的理想设备。



        电子半导体芯片用超纯水设备通常由多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。
       电子半导体芯片用超纯水设备工艺:
       1、采用离子交换方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点
      2、采用两级反渗透方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
      3、采用高效反渗透加EDI方式,其流程如下(最新工艺性价比最高):自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点




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